1. Hệ thống lọc đa phương tiện/than hoạt tính:
Ứng dụng trong quy trình sản xuất nào
Bộ lọc đa phương tiện thường được sử dụng như giai đoạn đầu tiên trong xử lý nước, loại bỏ hiệu quả các tạp chất như chất rắn lơ lửng, chất keo và các hạt trong nước thông qua sự kết hợp của các vật liệu lọc khác nhau, cung cấp nguồn nước tương đối sạch cho các quy trình xử lý tiếp theo. Bước này rất quan trọng để bảo vệ thiết bị xử lý tiếp theo và cải thiện hiệu quả xử lý tổng thể.

Bộ lọc than hoạt tính chủ yếu được sử dụng để loại bỏ các tạp chất như chất hữu cơ, mùi và sắc tố khỏi nước. Than hoạt tính có khả năng hấp phụ mạnh, có thể hấp phụ và loại bỏ các chất ô nhiễm này trong nước, từ đó cải thiện hơn nữa độ tinh khiết của chất lượng nước. Bước này rất quan trọng để đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước siêu tinh khiết.

Bằng cách kết hợp bộ lọc đa phương tiện và bộ lọc than hoạt tính, hầu hết các tạp chất trong nước có thể được loại bỏ hiệu quả, tạo nền tảng chất lượng nước tốt cho các phương pháp xử lý tiên tiến tiếp theo như thẩm thấu ngược và trao đổi ion. Điều này giúp đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước siêu tinh khiết cần thiết trong quy trình sản xuất của ngành công nghiệp bán dẫn điện tử, từ đó nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm.

Nguyên lý kỹ thuật
Nguyên lý kỹ thuật của bộ lọc đa phương tiện chủ yếu là sử dụng một hoặc nhiều vật liệu lọc để loại bỏ các tạp chất lơ lửng trong nước thông qua quá trình lọc sâu. Khi nước thô đi qua vật liệu lọc từ trên xuống dưới, các hạt lớn hơn được loại bỏ ở lớp trên cùng, trong khi các hạt nhỏ hơn được loại bỏ sâu hơn trong môi trường lọc. Điều này chủ yếu phụ thuộc vào hiệu ứng hấp phụ và ngăn chặn cơ học của lớp vật liệu lọc, cũng như độ chặt chẽ của sự sắp xếp các hạt cát, giúp các hạt nước có nhiều cơ hội hơn để va chạm với các hạt cát và bị chặn lại. Sau khi xử lý, chất rắn lơ lửng trong nước thải có thể được kiểm soát ở mức thấp hơn để đảm bảo độ trong của chất lượng nước.
Nguyên lý kỹ thuật của bộ lọc than hoạt tính chủ yếu dựa trên hiệu ứng hấp phụ của than hoạt tính. Than hoạt tính có diện tích bề mặt lớn và cấu trúc lỗ xốp phức tạp, giúp nó có khả năng hấp phụ mạnh. Khi nước đi qua bộ lọc than hoạt tính, các chất ô nhiễm như chất hữu cơ, mùi và sắc tố trong nước sẽ được hấp phụ trên bề mặt của than hoạt tính, do đó được loại bỏ hiệu quả. Ngoài ra, than hoạt tính cũng có thể loại bỏ clo dư thừa khỏi nước, đảm bảo hoạt động bình thường của thiết bị xử lý tiếp theo.

Chúng ta có thể đạt được những hiệu quả gì
Thứ nhất, như một thiết bị tiền xử lý, việc thiết kế bộ lọc đa phương tiện với nhiều sự kết hợp vật liệu cho phép nó loại bỏ hiệu quả các tạp chất lớn như chất rắn lơ lửng và các hạt trong nước. Điều này rất quan trọng để bảo vệ các thiết bị và quy trình xử lý nước tiếp theo, đảm bảo hoạt động ổn định của toàn bộ hệ thống xử lý nước. Thông qua bước này, có thể cung cấp nguồn nước tinh khiết sơ bộ cho ngành công nghiệp bán dẫn điện tử, giảm tác động tiềm tàng của các tạp chất đến quy trình sản xuất.
Thứ hai, bộ lọc than hoạt tính tận dụng khả năng hấp phụ mạnh của chúng để loại bỏ thêm các tạp chất vết như chất hữu cơ, mùi và sắc tố khỏi nước. Nếu các tạp chất này không được loại bỏ, chúng có thể gây ra những tác động bất lợi đến chất lượng và hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn điện tử. Việc áp dụng bộ lọc than hoạt tính có thể cải thiện đáng kể độ tinh khiết của nguồn nước và đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp điện tử và bán dẫn đối với chất lượng nước cao.

2. Hệ thống siêu lọc:
Ứng dụng trong quy trình sản xuất nào
Thứ nhất, trong quá trình làm sạch, màng siêu lọc có thể loại bỏ hiệu quả các hạt và ion khỏi nước, đóng vai trò là quá trình tiền xử lý cho các hệ thống nước siêu tinh khiết chất lượng cao. Nước siêu tinh khiết này được sử dụng để làm sạch các thiết bị và thiết bị bán dẫn để đảm bảo độ sạch của bề mặt sản phẩm và tránh tác động của chất ô nhiễm đến hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm.

Thứ hai, công nghệ siêu lọc cũng thường được sử dụng trong việc chuẩn bị các chất lỏng trong quy trình. Trong quá trình sản xuất bán dẫn, cần sử dụng nhiều loại chất lỏng trong quy trình như axit, bazơ, dung môi hữu cơ, v.v. Màng siêu lọc có thể lọc và làm sạch các chất lỏng này, loại bỏ tạp chất và các hạt, và đảm bảo độ tinh khiết và chất lượng của chất lỏng đáp ứng yêu cầu sản xuất.

Ngoài ra, công nghệ siêu lọc cũng đóng vai trò quan trọng trong việc tuần hoàn nước làm mát của thiết bị. Thiết bị sản xuất bán dẫn tạo ra một lượng nhiệt lớn trong quá trình hoạt động và cần nước làm mát để tản nhiệt. Màng siêu lọc có thể loại bỏ các hạt và ion khỏi nước làm mát, ngăn ngừa tạp chất gây hư hỏng thiết bị và đảm bảo hoạt động bình thường của thiết bị và độ ổn định của sản phẩm.

Nguyên lý kỹ thuật
Nguyên lý kỹ thuật của siêu lọc chủ yếu dựa trên quá trình tách màng do áp suất điều khiển. Trọng tâm là sử dụng màng bán thấm có kích thước lỗ chân lông cụ thể, tức là màng siêu lọc, để chặn các chất keo, hạt và các chất có trọng lượng phân tử tương đối cao trong nước, trong khi nước và các hạt chất tan nhỏ có thể xuyên qua màng.

Kích thước lỗ chân lông của màng siêu lọc thường nằm trong khoảng từ 20 đến 1000A°, với phạm vi lọc từ 0,002 μm đến 0,2 μm, có thể chặn hiệu quả các hạt có đường kính lớn hơn 0,002 μm, chẳng hạn như protein, pectin, chất béo và vi sinh vật. Màng siêu lọc với các vật liệu và cấu trúc khác nhau có hiệu quả tách và phạm vi ứng dụng khác nhau, vì vậy cần phải lựa chọn màng siêu lọc phù hợp theo yêu cầu ứng dụng cụ thể. Trong khi đó, các điều kiện hoạt động như áp suất áp dụng, lưu lượng và nhiệt độ cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu quả lọc của siêu lọc, và cần có điều khiển tối ưu.

Chúng ta có thể đạt được những hiệu quả gì
Thứ nhất, hệ thống siêu lọc có thể cung cấp nước xử lý độ tinh khiết cao. Trong quá trình sản xuất bán dẫn điện tử, có yêu cầu cao về chất lượng nước, và bất kỳ tạp chất nhỏ nào cũng có thể gây ra tác động nghiêm trọng đến chất lượng và hiệu suất sản phẩm. Hệ thống siêu lọc, thông qua khả năng lọc hiệu quả của nó, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt, chất keo, vi khuẩn và các tạp chất khác khỏi nước, đảm bảo độ tinh khiết của nước xử lý và đáp ứng các yêu cầu tiêu chuẩn cao về chất lượng nước trong quy trình sản xuất bán dẫn điện tử.

Thứ hai, hệ thống siêu lọc có thể bảo vệ thiết bị sản xuất. Do khả năng cung cấp nước xử lý tinh khiết của hệ thống siêu lọc, nó giúp giảm sự ăn mòn và đóng cặn trong thiết bị sản xuất do các vấn đề về chất lượng nước, từ đó kéo dài tuổi thọ của thiết bị và giảm chi phí bảo trì.

Ngoài ra, hệ thống siêu lọc cũng có thể giúp cải thiện hiệu quả sản xuất. Bằng cách đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước xử lý, hệ thống siêu lọc có thể giảm gián đoạn sản xuất và sự dao động chất lượng sản phẩm do các vấn đề về chất lượng nước, từ đó đảm bảo tính liên tục và ổn định của quy trình sản xuất và cải thiện hiệu quả sản xuất.
Cuối cùng, hệ thống siêu lọc cũng góp phần đạt được bảo vệ môi trường và phát triển bền vững. Bằng cách loại bỏ hiệu quả các chất ô nhiễm khỏi nước, hệ thống siêu lọc có thể giảm khó khăn và chi phí xử lý nước thải, và giảm thiểu tác động của chúng đến môi trường. Đồng thời, việc áp dụng hệ thống siêu lọc cũng giúp thúc đẩy sự chuyển đổi của ngành công nghiệp bán dẫn điện tử theo hướng các phương pháp sản xuất thân thiện với môi trường và bền vững hơn.

3. Hệ thống màng thẩm thấu ngược:
Ứng dụng trong quy trình sản xuất nào
Màng thẩm thấu ngược chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn cho các bước xử lý chuẩn bị nước siêu tinh khiết. Trong quá trình sản xuất bán dẫn điện tử, nước siêu tinh khiết được sử dụng rộng rãi để làm sạch các linh kiện chính như wafer silicon và chip, loại bỏ hiệu quả các hạt bề mặt và chất hữu cơ, và giảm tỷ lệ lỗi sản phẩm. Màng thẩm thấu ngược có thể cung cấp nước khử ion ổn định và có điện trở suất thấp, đáp ứng các yêu cầu chất lượng nước cao của ngành công nghiệp bán dẫn.

Ngoài ra, công nghệ màng thẩm thấu ngược cũng có thể cung cấp nước rửa chất lượng cao, đảm bảo độ tin cậy và ổn định của linh kiện. Bằng cách tận dụng các đặc tính của màng thẩm thấu ngược, có thể đạt được kiểm soát chính xác chất lượng nước, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về nước siêu tinh khiết trong quy trình sản xuất bán dẫn điện tử.

Nguyên lý kỹ thuật
Màng thẩm thấu ngược thường là màng bán thấm tổng hợp nhân tạo có kích thước lỗ chân lông rất nhỏ, có thể chặn hiệu quả các tạp chất như muối hòa tan, chất hữu cơ và ion kim loại nặng trong nước, đồng thời cho phép các phân tử nước đi qua. Nếu áp suất lớn hơn áp suất thẩm thấu được áp dụng lên một phía của dung dịch cô đặc, hướng dòng chảy của dung môi sẽ ngược lại với hướng thẩm thấu ban đầu, bắt đầu chảy từ dung dịch cô đặc sang phía dung dịch pha loãng. Quá trình này được gọi là thẩm thấu ngược. Tại thời điểm này, dung môi đi qua màng thẩm thấu ngược dưới áp suất, trong khi chất tan bị màng chặn lại, đạt được mục đích tách và làm sạch.

Chúng ta có thể đạt được những hiệu quả gì
Thứ nhất, màng thẩm thấu ngược có thể loại bỏ hiệu quả các tạp chất như vi khuẩn, chất hữu cơ và các nguyên tố kim loại khỏi nước, đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước siêu tinh khiết. Nước siêu tinh khiết này là điều không thể thiếu trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử, được sử dụng để làm sạch các linh kiện chính như wafer silicon và chip, loại bỏ hiệu quả các hạt bề mặt và chất hữu cơ, giảm tỷ lệ lỗi sản phẩm và từ đó cải thiện chất lượng và hiệu suất sản phẩm.

Thứ hai, việc ứng dụng công nghệ màng thẩm thấu ngược đã làm chậm lại những thay đổi về chất lượng nước sản xuất do sự biến động chất lượng nguồn nước gây ra, qua đó tạo điều kiện thuận lợi cho sự ổn định chất lượng nước trong sản xuất. Điều này có tác động tích cực đến sự ổn định chất lượng sản phẩm nước siêu tinh khiết và giúp đảm bảo sản xuất sản phẩm bán dẫn đạt tiêu chuẩn.

Tóm lại, việc ứng dụng màng thẩm thấu ngược trong ngành công nghiệp chất bán dẫn điện tử có thể đạt được việc chuẩn bị nước siêu tinh khiết hiệu quả, đảm bảo sự ổn định và độ tin cậy của chất lượng sản phẩm, đồng thời giúp giảm chi phí sản xuất và ô nhiễm môi trường.

4. Hệ thống EDI:
Ứng dụng trong quy trình sản xuất nào
Hệ thống EDI, còn được gọi là hệ thống điện phân khử ion, có phạm vi ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng trong các bước quy trình chuẩn bị nước siêu tinh khiết.

Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nước siêu tinh khiết được sử dụng trong nhiều bước quy trình chính, chẳng hạn như làm sạch các linh kiện chính như wafer silicon và chip, cũng như là cơ sở để chuẩn bị các chất lỏng quy trình khác. Hệ thống EDI có thể loại bỏ hiệu quả các ion và các tạp chất khác khỏi nước thông qua công nghệ màng trao đổi ion và công nghệ điện di ion, qua đó chuẩn bị nước siêu tinh khiết có độ tinh khiết cao.

Cụ thể, hệ thống EDI có thể loại bỏ các ion khỏi nước, chẳng hạn như các ion kim loại như natri, canxi, magiê, cũng như các anion như ion clorua và sunfat, dẫn đến độ dẫn điện của nước cực thấp và đáp ứng các yêu cầu cao về chất lượng nước trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Trong khi đó, do khả năng loại bỏ ion hiệu quả, hệ thống EDI cũng có thể giảm tần suất tái sinh và tiêu thụ hóa chất cần thiết trong các quy trình trao đổi ion truyền thống, giảm chi phí vận hành và tác động đến môi trường.

Nguyên lý kỹ thuật
Nguyên lý kỹ thuật của hệ thống EDI chủ yếu dựa trên công nghệ màng trao đổi ion và công nghệ điện di ion.

Dưới tác dụng của điện trường một chiều, các ion điện môi trong vách ngăn của hệ thống EDI trải qua chuyển động định hướng. Màng trao đổi ion có tính thấm chọn lọc đối với ion, cho phép một số ion đi qua trong khi ngăn chặn các ion khác đi qua, qua đó đạt được việc làm sạch chất lượng nước. Trong quá trình này, nhựa trao đổi ion được tái sinh liên tục bằng điện, do đó không cần sử dụng axit và kiềm để tái sinh.

Cụ thể, mô-đun EDI kẹp nhựa trao đổi ion giữa các màng trao đổi ion anion / cation để tạo thành các đơn vị EDI, được ngăn cách bởi các lưới để tạo thành một buồng nước cô đặc và một buồng nước tươi. Sau khi thiết lập các điện cực âm / dương ở cả hai đầu của nhóm đơn vị, dòng điện một chiều sẽ thúc đẩy các ion âm và dương trong buồng nước tươi đi qua các màng trao đổi ion tương ứng và đi vào buồng nước cô đặc, qua đó loại bỏ các ion này trong buồng nước tươi. Nước trong buồng nước cô đặc mang các ion ra khỏi hệ thống, tạo thành nước cô đặc.

Chúng ta có thể đạt được những hiệu quả gì
Hệ thống EDI có thể chuẩn bị nước siêu tinh khiết hiệu quả. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nước siêu tinh khiết là yếu tố sản xuất chính được sử dụng để làm sạch các linh kiện cốt lõi như wafer silicon và chip, cũng như là cơ sở để chuẩn bị các chất lỏng quy trình khác. Hệ thống EDI, thông qua khả năng loại bỏ ion hiệu quả, có thể loại bỏ các tạp chất như ion và chất hữu cơ khỏi nước, đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước siêu tinh khiết và đáp ứng các yêu cầu cao của sản xuất chất bán dẫn đối với chất lượng nước.

Hơn nữa, hệ thống EDI có những ưu điểm như vận hành đơn giản, không cần tái sinh và chất lượng nước thải ổn định. Trong khi đáp ứng các yêu cầu của dòng chảy vào, nó có thể đảm bảo điện trở suất của sản xuất nước liên tục là ≥ 15M Ω.

5. Hệ thống hỗn hợp đánh bóng:
Ứng dụng trong quy trình sản xuất nào
Giường hỗn hợp đánh bóng chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn cho quá trình chuẩn bị nước siêu tinh khiết.

Rửa chip: Trong quá trình sản xuất chip, nhiều tạp chất được tạo ra thông qua các quy trình như kết tủa hóa học / vật lý, ăn mòn và nung. Để loại bỏ các tạp chất này và đảm bảo hiệu suất của chip, cần sử dụng nước siêu tinh khiết để rửa.

Chuẩn bị vật liệu bán dẫn: Nước siêu tinh khiết có thể loại bỏ tạp chất trên bề mặt vật liệu bán dẫn, đảm bảo các yêu cầu về độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn, qua đó cải thiện hiệu quả hiệu suất và độ tin cậy của chip bán dẫn.

Trong các bước quy trình này, nước siêu tinh khiết được sử dụng để làm sạch các thiết bị và thiết bị bán dẫn, đảm bảo độ sạch của bề mặt sản phẩm và tránh tác động của chất gây ô nhiễm đến hiệu suất và độ tin cậy của sản phẩm. Hệ thống giường hỗn hợp đánh bóng có thể loại bỏ hiệu quả các ion và chất hữu cơ khỏi nước, đảm bảo chất lượng nước đáp ứng các tiêu chuẩn cao trong ngành công nghiệp bán dẫn.

Nguyên lý kỹ thuật
Nguyên lý kỹ thuật của giường hỗn hợp đánh bóng chủ yếu dựa trên nguyên lý trao đổi ion. Nhựa này là một hợp chất polymer bao gồm các nhóm trao đổi ion đặc biệt có thể thể hiện chức năng trao đổi ion trong dung dịch nước.

Trong ứng dụng của ngành công nghiệp bán dẫn, giường hỗn hợp đánh bóng chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị nước siêu tinh khiết. Khi nước thô chứa các ion tạp chất đi qua nhựa, các nhóm trao đổi ion trong nhựa sẽ trao đổi với các ion tạp chất này, hấp phụ chúng trên nhựa và giải phóng các ion không gây hại cho quy trình. Bằng cách này, thông qua tương tác trao đổi ion của nhựa, các ion tạp chất trong nước thô được loại bỏ hiệu quả, dẫn đến nước có độ tinh khiết cao.

Chúng ta có thể đạt được những hiệu quả gì
Thứ nhất, nó đảm bảo chất lượng nước siêu tinh khiết. Nước siêu tinh khiết rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn điện tử. Giường hỗn hợp đánh bóng có thể loại bỏ hiệu quả các ion, chất hữu cơ và các tạp chất khác khỏi nước, đảm bảo chất lượng và độ ổn định của nước siêu tinh khiết và đáp ứng các tiêu chuẩn cao về chất lượng nước trong sản xuất chất bán dẫn điện tử.

Đánh bóng giường hỗn hợp cũng giúp cải thiện hiệu quả sản xuất. Do khả năng trao đổi ion hiệu quả và hiệu suất ổn định, nó có thể giảm gián đoạn sản xuất và bảo trì thiết bị do các vấn đề về chất lượng nước gây ra, đảm bảo tính liên tục và ổn định của quá trình sản xuất.